antony_w (antony_w) wrote,
antony_w
antony_w

Categories:

Решена проблема обратной литографии — ключ к дальнейшей миниатюризации микросхем



Компания из Кремниевой нашла решение для внедрения перспективной технологии обратной литографии. Этот прорыв ускорит процесс производства микрочипов и позволит производить продвинутые полупроводники без модернизации оборудования.

В большинстве современных методов фотолитографии, которые применяются для создания микрочипов, свет с длиной волны 193 нм проходит сквозь линзы и фотомаску, попадая на кремниевую подложку в заданных местах. Уже несколько лет для уменьшения масштаба цепей применяются всевозможные оптические трюки и сложные формы.

Но что если можно пойти от обратного, начать с желаемых параметров и рассчитать формы, которые должны быть на фотомаске, чтобы потом можно было их изготовить? В этом заключается идея обратной литографии. До сих пор, однако, она оставалась настолько сложным и трудоемким методом, что даже самые передовые компании использовали его лишь точечно, пишет Spectrum.

Основная проблема обратной литографии — вычислительная сложность: создание маски для всего чипа требует несколько месяцев расчетов. Стартап из Кремниевой долины D2S предлагает свое решение — TrueMask ILT.

Это компьютерная система и ПО, которое выполняет вычисления для целого чипа за один день. В D2S утверждают, что это первое коммерческое решение с такими возможностями.

D2S и производитель микрочипов Micron Technology протестировали систему, изготовив фотомаску для создания различных слоев, требующих особой точности. Результат, представленный на конференции по литографии SPIE в США, впечатляет: новая технология позволяет производить паттерны на подложке с точностью в два раза выше, чем у современного метода коррекции оптической близости.

«Улучшение допуска на 100% — это больше чем может достичь одно поколение фотолитографических сканеров», — заявил Лео Пан, технический директор компании.

Для многомиллиардной индустрии производства это означает, что фабрика может начать выпуск более передовых микрочипов, не покупая новое фотолитографическое оборудование.

Tags: электроника
Subscribe

Posts from This Journal “электроника” Tag

promo antony_w august 17, 2014 11:48 18
Buy for 10 tokens
Есть блог, в котором написано много постов про роботов: ссылка И там есть несколько статей о замене рабочих мест человека роботами: Уже к 2018 году роботы отберут у человека часть профессий Рабский труд без зарплаты Армия роботов: зачем она нужна обильной людьми Поднебесной и кому может…
  • Post a new comment

    Error

    default userpic

    Your IP address will be recorded 

    When you submit the form an invisible reCAPTCHA check will be performed.
    You must follow the Privacy Policy and Google Terms of use.
  • 1 comment